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Thin Transparent Single-Crystal Silicon Membranes Made Using a Silicon-on-Nitride Wafer
薄脆饼
材料科学
氮化硅
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膜
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化学
生物化学
作者
Su-Hwan Lee,
Dal Ho Kim,
Hee-Doo Yang,
Sung Jun Kim,
Dong-Won Shin,
Sung Ha Woo,
Hun Joo Lee,
Hyun Min Seung,
Sang-Keum Lee,
Gon-Sub Lee,
Jea‐Gun Park
出处
期刊：
Journal of the Korean Physical Society
[Springer Science+Business Media]
日期：2008-08-14
卷期号：53 (2): 579-583
被引量：4
标识
DOI：10.3938/jkps.53.579
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