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Low-scatter HfO2/SiO2 multilayer enhanced mirror for 1064 nm
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物理
作者
Jue Wang
出处
期刊：
日期：2013-01-01
卷期号：: TC.6-TC.6
链接
fraunhofer.de
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1364/oic.2013.tc.6
摘要
HfO2/SiO2 multilayers were deposited on commercial silicon substrates. Angular resolved scatter measurement was performed at 1064 nm. Total backscattering and near angle scattering (0.5° to 2°) were determined to be 10−4 and 10−5, respectively.
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