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Path Following Control of an Atomic Force Microscope Driven by a Piezoelectric Inertia Actuated Robot Inside a Scanning Electron Microscope

压电 机器人 扫描电子显微镜 显微镜 电子 惯性 原子力显微镜 电子显微镜 材料科学 物理 声学 光学 计算机科学 纳米技术 经典力学 人工智能 量子力学
作者
Shuai Liang,Jean-Claude Régnier,Mokrane Boudaoud
标识
DOI：10.1109/marss61851.2024.10612730
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