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作者
Surassa Sriwichai,
Sumet Sakulsermsuk,
Sasiphong Duangjam,
Khatcharin Wetchakun,
Natda Wetchakun
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2024-08-12
卷期号：184: 108791-108791
被引量：20
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108791
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