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Reduction of vacancy defects induced by thermal annealing in β-Ga2O3 epilayer

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作者
Teng Fan,Ning Tang,Jiaqi Wei,Shixiong Zhang,Zhenhao Sun,Guoping Li,Jiayang Jiang,Lei Fu,Yunfan Zhang,Ye Yuan,Xin Rong,Weikun Ge,Xinqiang Wang,Bo Shen
出处
期刊:Micro and nanostructures 卷期号:176: 207525-207525 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.micrna.2023.207525

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