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基于掩埋金属掩膜的表面光栅半导体激光器制备工艺研究

计算机科学
作者
商宇 SHANG Yu,范杰 FAN Jie,王海珠 WANG Haizhu,邹永刚 ZOU Yonggang,马晓辉 MA Xiaohui
出处
期刊:Acta Photonica Sinica [Chinese Optical Society]
卷期号:51 (9): 0914005-0914005
标识
DOI:10.3788/gzxb20225109.0914005
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