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CMOS-compatible direct laser writing of sulfur-ultrahyperdoped silicon: Breakthrough pre-requisite for UV-THz optoelectronic nano/microintegration

材料科学 光电子学 光电导性 电离 激光器 兴奋剂 光谱学 分析化学（期刊） 光学 化学 物理 色谱法 量子力学 离子 有机化学
作者
S. I. Kudryashov,Alena Nastulyavichus,George Krasin,K. A. Khamidullin,К. Н. Болдырев,Demid A. Kirilenko,A. E. Yachmenev,Д. С. Пономарев,G. A. Komandin,С. П. Лебедев,D. D. Prikhodko,M. S. Kovalev
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2022-11-08 卷期号：158: 108873-108873 被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2022.108873
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