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Phenomena and mechanism of local oxidation microlithography of 4H–SiC via electrochemical jet anodisation

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作者
Bangyan Dong,Shunda Zhan,Jiajun Lu,Zhaojie Chen,Yonghua Zhao
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier]
日期：2022-11-04 卷期号：49 (6): 8781-8792 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2022.11.029
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