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飞秒激光脉冲序列烧蚀硅的孔型质量研究

计算机科学
作者
陈天琦 CHEN Tianqi,杨坚 YANG Jian,贾天卿 JIA Tianqing
出处
期刊：Acta Photonica Sinica [Chinese Optical Society]
日期：2021-01-01 卷期号：50 (6): 108-108 被引量：2
标识
DOI：10.3788/gzxb20215006.0650112
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