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Humidity sensor based on heterogeneous CoTiO3/TiO2 film with vertically aligned nanocrystalline structure

纳米晶材料 材料科学 异质结 光电子学 溅射 退火（玻璃） 纳米技术 薄膜 复合材料
作者
Jing Lu,Kuoyi Liang,Can Xu,Xing Wang,Haibo Ouyang,Jianfeng Huang,Liangliang Feng
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2019-02-18 卷期号：163: 292-300 被引量：36
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2019.02.027
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