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Structural Evolution and Electrical Properties of Highly Active Plasma Process on 4H-SiC
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作者
Dae-Kyoung Kim,
Mann–Ho Cho
出处
期刊：
Applied Science and Convergence Technology
[Korean Vacuum Society]
日期：2017-09-30
卷期号：26 (5): 133-138
被引量：6
链接
re.kr
doi.org
标识
DOI：10.5757/asct.2017.26.5.133
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