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Thermal desorption study on possible hydrogen sources and diffusion barriers in CMOS technology

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作者
Jacopo Remondina,A. Portavoce,M. Bertoglio,Guillaume Roland,F. Lorut,Y. Le Friec,Daniel Benoit,Magali Putero
出处
期刊：Materials Letters [Elsevier BV]
日期：2023-01-24 卷期号：337: 133916-133916
链接
sciencedirect.com hal.science hal.science hal.science hal.science hal.science hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.matlet.2023.133916
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