Mixed-defect wafer map separation and detection based on single-defect wafer map

薄脆饼 分离(统计) 材料科学 晶圆制造 计算机科学 光电子学 机器学习
作者
Jialin Li,Kun Long,Renxiang Chen,Yuxiong Li,Xianzhen Huang
出处
期刊:Computers & Industrial Engineering [Elsevier]
卷期号:208: 111395-111395
标识
DOI:10.1016/j.cie.2025.111395
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