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Preparation of SiO2 Film with High Hardness and Antireflection with AEO
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作者
Zhaorui Li,
Zhiqiang Li,
Yonghong Wu,
Wenle Zhu,
Lifang Nie,
Juncheng Liu
出处
期刊：
Silicon
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-01-29
标识
DOI：10.1007/s12633-025-03225-7
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