Preparation of SiO2 Film with High Hardness and Antireflection with AEO

材料科学 工程物理 复合材料 冶金 工程类
作者
Zhaorui Li,Zhiqiang Li,Yonghong Wu,Wenle Zhu,Lifang Nie,Juncheng Liu
出处
期刊:Silicon [Springer Science+Business Media]
卷期号:17 (4): 745-754
标识
DOI:10.1007/s12633-025-03225-7
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