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Local Interface RF Passivation Layer Based on Helium Ion-Implantation in High-Resistivity Silicon Substrates

钝化硅氦材料科学光电子学图层（电子）离子注入电阻率和电导率接口（物质）无线电频率离子电气工程复合材料原子物理学化学工程类物理有机化学毛细管数毛细管作用

作者

M. Perrosé,Pablo Acosta-Alba,S. Reboh,J. Lugo-Alvarez,Christophe Plantier,Pieter Cardinael,Martin Rack,F. Allibert,F. Milési,X. Garros,Jean‐Pierre Raskin

标识

DOI：10.1109/ims40175.2024.10600220

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