Investigation of HfO2 and ZrO2 Nanolamination Thickness on Superlattice HZO FeRAMs Exhibiting Enhanced Remnant Polarization and Improved Endurance

超晶格 材料科学 极化(电化学) 光电子学 光学 化学 物理 物理化学
作者
Dong-Ru Hsieh,Zi-Yang Hong,Wei-Ju Yeh,Jia-Chian Ni,Huai-En Luo,Yan-Kui Liang,Shang-Lin Hsieh,Kuan-Lin Chen,Tien‐Sheng Chao
标识
DOI:10.1109/snw63608.2024.10639221
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