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Study on Wet Alkaline Chemicals Etching of Hole Dummy Polysilicon in 3d Multi-Layer Structure
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作者
Jiao Jin,
Wenjun Chen,
Chunying Guan,
Hong‐Bo Sun,
Chao Zhao,
Baodong Han
标识
DOI：10.1109/cstic64481.2025.11017914
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