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Mass transfer analysis of a concentration-regulated metal-assisted chemical etching system and its application in Si nanohole fabrication
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作者
Jiecai Long,
Xuan Zhang,
Haojun Zhang,
Haoya Wang,
Congkai Xie,
Xun Chen,
Xun Chen,
Guohuai Lin,
Yun Chen,
Xin Chen,
Xin Chen,
Huitao Liu,
Renquan Lu
出处
期刊：
Chemical Engineering Journal
[Elsevier BV]
日期：2025-04-23
卷期号：513: 162997-162997
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.cej.2025.162997
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