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Doping sites observation of deep-level impurities in hyperdoped silicon via high-resolution transmission electron microscopy

高分辨率透射电子显微镜杂质兴奋剂硅材料科学透射电子显微镜退火（玻璃）化学分析化学（期刊）纳米技术光电子学冶金色谱法有机化学

作者

C. Wen,Zhenqi Shi,Wenjie Yang

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2019-07-22 卷期号：806: 227-238

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2019.07.252

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