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Understanding the unusual friction behavior of TiN films in vacuum

锡 氮化钛 摩擦学 材料科学 摩擦系数 超高真空 大气（单位） 摩擦系数 吸附 复合材料 氮化物 冶金 纳米技术 热力学 化学 图层（电子） 物理化学 物理
作者
Qingchun Chen,Guizhi Wu,Dongshan Li,An Li,Lunlin Shang,Zhibin Lu,Guangan Zhang,Zhiguo Wu,Guangke Tian
出处
期刊：Tribology International [Elsevier BV]
日期：2019-05-17 卷期号：137: 379-386 被引量：31
标识
DOI：10.1016/j.triboint.2019.05.024
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