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Influence of thickness on the structural properties of radio-frequency and direct-current magnetron sputtered TiO2 anatase thin films

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作者

Sanat Kumar Mukherjee,A. Nebatti,F. Mohtascham,Sebastian Schipporeit,Christian Notthoff,Dieter Mergel

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2014-02-20 卷期号：558: 443-448 被引量：17

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2014.02.048

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