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Application of deposited by ALD HfO2 and Al2O3 layers in double-gate dielectric stacks for non-volatile semiconductor memory (NVSM) devices

原子层沉积 材料科学 电介质 高-κ电介质 光电子学 堆栈（抽象数据类型） 半导体 非易失性存储器 量子隧道 栅极电介质 电压 图层（电子） 纳米技术 晶体管 电气工程 工程类 计算机科学 程序设计语言
作者
Robert Mroczyński,Andrzej Taube,Sylwia Gierałtowska,E. Guziewicz,M. Godlewski
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2012-02-09 卷期号：258 (21): 8366-8370 被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2012.01.115
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