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Room-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiOCH films using tetraethoxysilane
作者
K. Yamaoka,
Yuji Yoshizako,
Hiroyuki Kato,
Daisuke Tsukiyama,
Yoshikazu Terai,
Y. Fujiwara
出处
期刊：
Physica B-condensed Matter
[Elsevier BV]
日期：2006-01-24
卷期号：376-377: 399-402
被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.physb.2005.12.103
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