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作者
Hyunseop Lee,
Boumyoung Park,
Haedo Jeong
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2008-01-29
卷期号：85 (4): 689-696
被引量：53
标识
DOI：10.1016/j.mee.2007.12.044
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