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Effects of pyrazine and its derivatives as inhibitors on copper film chemical-mechanical polishing properties for ruthenium-based copper interconnect

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作者
Ni Zhan,Chao He,Xinhuan Niu,Nannan Zhang,Yida Zou,Jianghao Liu,Changxin Dong,Xinjie Li,Jianwei Zhou
出处
期刊：Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects [Elsevier]
日期：2024-03-01 卷期号：688: 133609-133609 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.colsurfa.2024.133609
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