Laser direct lithography of large-area three-dimensional integrated photonics: Technological challenges and advances

平版印刷术 光子学 无光罩微影 激光器 纳米技术 材料科学 工程物理 工程类 光电子学 光学 物理 电子束光刻 抵抗 图层(电子)
作者
Lijing Zhong,Yuying Wang,Xuhu Han,Jiacheng Hu,Jianrong Qiu
出处
期刊:Chip [Elsevier]
卷期号:4 (4): 100157-100157 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.chip.2025.100157
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