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Unveiling Cryogenic Performance (4 to 300 K) Towards Ultra-Thin Ferroelectric HZO: Novel Kinetic Barrier Engineering and Underlying Mechanism

铁电性 机制（生物学） 动能 光电子学 材料科学 薄膜 凝聚态物理 纳米技术 物理 电介质 量子力学
作者
Dong Zhang,Yang Feng,Zijie Zheng,Chen Sun,Qiwen Kong,Gan Liu,Zuopu Zhou,Gengchiau Liang,Kai Ni,Jixuan Wu,Jiezhi Chen,Xiao Gong
标识
DOI：10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631318
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