Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses

电容 材料科学 原子层沉积 电介质 图层(电子) 光电子学 金属 晶体管 高-κ电介质 纳米技术 电气工程 化学 冶金 电极 电压 工程类 物理化学
作者
Lei Zhang,Zhaochao Liu,Wei Ai,Jiabiao Chen,Zunxian Lv,Bing Wang,Mingjian Yang,Feng Luo,Jinxiong Wu
出处
期刊:Nature electronics [Nature Portfolio]
卷期号:7 (8): 662-670 被引量:27
标识
DOI:10.1038/s41928-024-01202-3
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