Effects of seed layer thickness and post-annealing process on crystalline quality of β-Ga2O3 films prepared on Si (100) substrate by RF magnetron sputtering

材料科学 退火(玻璃) 成核 溅射沉积 再结晶(地质) 光电子学 溅射 腔磁控管 薄膜 复合材料 纳米技术 化学 古生物学 有机化学 生物
作者
Wei Mi,Xinwei Li,Yue Ding,Di Wang,Mingsheng Xu,Longfei Xiao,Xingcheng Zhang,Xinrong Chen,Bingkun Li,Liyuan Luo,Jinshi Zhao,Liwei Zhou,Junli Yu
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:214: 112235-112235 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2023.112235
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