Atomic layer deposited protective coatings for micro-electromechanical systems

原子层沉积 保形涂层 材料科学 微电子机械系统 悬臂梁 制作 涂层 图层(电子) 光电子学 粘着 抵抗 纳米技术 薄膜 复合材料 医学 病理 替代医学
作者
Nils Høivik,Jeffrey W. Elam,R. Linderman,Victor M. Bright,Steven M. George,Y.C. Lee
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:103 (1-2): 100-108 被引量:147
标识
DOI:10.1016/s0924-4247(02)00319-9
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
古德曼发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
3秒前
Hello应助隐形又柔采纳,获得10
3秒前
4秒前
4秒前
黎恩发布了新的文献求助10
5秒前
研友_LMy6kL发布了新的文献求助60
7秒前
共享精神应助古德曼采纳,获得10
7秒前
Gtingting发布了新的文献求助20
7秒前
euuu发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
10秒前
10秒前
大胆易巧完成签到 ,获得积分10
12秒前
Serendipity应助乐1采纳,获得10
12秒前
L2发布了新的文献求助10
13秒前
Lina发布了新的文献求助10
15秒前
在水一方应助黎恩采纳,获得10
15秒前
qq完成签到,获得积分10
15秒前
猪猪侠发布了新的文献求助10
16秒前
17秒前
17秒前
18秒前
德吉关注了科研通微信公众号
20秒前
L2完成签到,获得积分20
20秒前
MENG应助曾经的世倌采纳,获得30
21秒前
明亮中心发布了新的文献求助10
22秒前
阿尼完成签到 ,获得积分10
22秒前
22秒前
tsttst完成签到,获得积分10
25秒前
科研通AI6应助美好的千凝采纳,获得10
26秒前
z7486完成签到,获得积分10
26秒前
sunszxy完成签到,获得积分10
26秒前
26秒前
风中天宇发布了新的文献求助10
27秒前
Gtingting完成签到,获得积分20
28秒前
研友_VZG7GZ应助科研通管家采纳,获得10
29秒前
Ava应助科研通管家采纳,获得10
29秒前
英俊的铭应助科研通管家采纳,获得10
29秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
高温高圧下融剤法によるダイヤモンド単結晶の育成と不純物の評価 5000
Treatise on Geochemistry (Third edition) 1600
Vertebrate Palaeontology, 5th Edition 500
ISO/IEC 24760-1:2025 Information security, cybersecurity and privacy protection — A framework for identity management 500
碳捕捉技术能效评价方法 500
Optimization and Learning via Stochastic Gradient Search 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4714248
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4077118
关于积分的说明 12609280
捐赠科研通 3780155
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2088011
邀请新用户注册赠送积分活动 1114428
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 991728