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Zinc oxide films deposited by radio frequency plasma magnetron sputtering technique

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作者
Jian‐Wei Hoon,Kah‐Yoong Chan,Teck‐Yong Tou
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2012-10-15 卷期号：39: S269-S272 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2012.10.075
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