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Defects evolution and dopant activation anomalies in ion implanted silicon

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作者
F. Cristiano,Y. Lamrani,Fabrice Sévérac,Mathieu Gavelle,Simona Boninelli,N. Cherkashin,Olivier Marcelot,A. Claverie,W. Lerch,S. Paul,N. E. B. Cowern
出处
期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
日期：2006-11-15 卷期号：253 (1-2): 68-79 被引量：13
链接
hal.science archives-ouvertes.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.nimb.2006.10.046
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