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Low Temperature Deposition of Inorganic Thin Films by Ultraviolet Laser-Assisted Chemical Vapor Deposition

材料科学 薄膜 沉积（地质） 化学气相沉积 燃烧化学气相沉积 脉冲激光沉积 光电子学 化学工程 紫外线 碳膜 激光器 纳米技术 光学 地质学 物理 工程类 古生物学 沉积物
作者
Seungkuk Kuk,Park Jongmin,Tao Zhang,Ho-Nyun Lee,Cho Kwan Hyun,Kang Kyung Tae,Jeffrey David
出处
期刊：Nanoscience and Nanotechnology Letters [American Scientific Publishers]
日期：2016-07-01 卷期号：8 (7): 586-591 被引量：3
标识
DOI：10.1166/nnl.2016.2229
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