Removing plasma-induced sidewall damage in GaN-based light-emitting diodes by annealing and wet chemical treatments

钝化 材料科学 发光二极管 退火(玻璃) 光电子学 等离子体 二极管 热的 复合材料 图层(电子) 物理 量子力学 气象学
作者
Yang Yu,X. A. Cao
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Institute of Physics]
卷期号:27 (6): 2337-2341 被引量:68
标识
DOI:10.1116/1.3244590
摘要

The effects of thermal annealing and wet chemical treatments on the electrical characteristics of GaN-based light emitting diodes (LEDs) integrated with a microhole array were studied. It was found that KOH can etch off the plasma-damaged materials, leading to a complete suppression of surface leakage currents. It, however, attacked metal contacts and compromised the forward turn-on characteristics. Thermal annealing removed damage in the near-surface bulk region, whereas (NH4)2S treatment only passivated surface states. Both methods produced a partial recovery of the electrical characteristics of the perforated LEDs. It has been found that a complete removal of plasma damage in the perforated LEDs can be realized by thermal annealing used in conjunction with sulfide passivation.
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