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Volumetric thin film thickness measurement using spectroscopic imaging reflectometer and compensation of reflectance modeling error

光学 材料科学 补偿(心理学) 椭圆偏振法 高斯分布 镜头(地质) 观测误差 薄膜 物理 数学 精神分析 心理学 量子力学 统计 纳米技术
作者
Kwangrak Kim,Seongryong Kim,Soonyang Kwon,Heui Jae Pahk
出处
期刊:International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Science+Business Media]
卷期号:15 (9): 1817-1822 被引量:26
标识
DOI:10.1007/s12541-014-0534-3

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