Fourier transform infrared spectroscopy studies on thermal decomposition of tetrakis-dimethyl-amido zirconium for chemical vapor deposition of ZrN

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作者
Ihl-Woo Kim,Sung-Jae Kim,Do‐Heyoung Kim,Heegweon Woo,Man-Yong Park,Shi‐Woo Rhee
出处
期刊:Korean Journal of Chemical Engineering [Springer Science+Business Media]
卷期号:21 (6): 1256-1259 被引量:17
标识
DOI:10.1007/bf02719504
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