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Mechanical effect of colloidal silica in copper chemical mechanical planarization
作者
Hyunseop Lee,
Sukbae Joo,
Haedo Jeong
出处
期刊：
Journal of Materials Processing Technology
[Elsevier BV]
日期：2009-05-31
卷期号：209 (20): 6134-6139
被引量：56
标识
DOI：10.1016/j.jmatprotec.2009.05.027
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