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Understanding the effect of pulsed power delivery modes on reactive sputter deposition process and coating properties through experimental and plasma simulation studies

溅射 涂层 材料科学 沉积（地质） 等离子体 过程（计算） 化学工程 纳米技术 计算机科学 薄膜 工程类 物理 核物理学 地质学 古生物学 沉积物 操作系统
作者
Gayatri K. Rane,Adam Obrusník,Martin Kubečka,Kristína Tomanková,Philipp Dürrenfeld,U. Krause,Denis M. Shaw
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2025-02-01 卷期号：: 131975-131975
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.131975
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