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Boron nitride for applications in microelectronics

微电子氮化硼材料科学纳米技术氮化物硼工程物理光电子学化学工程类有机化学图层（电子）

作者

Serena H. Chen,Blanka Magyari‐Köpe,Chuang‐Han Hsu,Wei‐Yen Woon,Szuya Sandy Liao

出处

期刊：日期：2025-03-03 卷期号：2 (3): 205-214 被引量：11

链接

nature.comdoi.org

标识

DOI：10.1038/s44287-025-00141-1

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