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Ultrafast planarization of large-scale polycrystalline diamond by microsecond laser processing: Investigation of polishing mechanisms and impact on the material

化学机械平面化 微秒 钻石 抛光 材料科学 聚晶金刚石 微晶 激光器 超短脉冲 纳米技术 法律工程学 复合材料 冶金 光学 工程类 物理
作者
Jinxin Zou,Sheng Ye,Vadim Sedov,Wangzhe Leng,Peng Liu,P. A. Pivovarov,Liangxian Chen,Jianjun Zhang,Jinlong Liu,Chengming Li,Junjun Wei
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-08-07 卷期号：713: 164282-164282 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.164282
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