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Damage characteristics and material removal mechanisms of CVD-SiC in nanotests: A comparative with sintered SiC 9小时前 待确认
Effects of grain size and crystallographic orientation on plasma etching behavior in tungsten carbide 3天前 已完结
Enhanced erosion resistance in semiconductor reactive ion etcher focus ring with large grain PVT SiC 3天前 已完结
B4C and WC as viable alternatives to SiC for plasma-facing components in semiconductor manufacturing 5天前 已完结
B4C and WC as viable alternatives to SiC for plasma-facing components in semiconductor manufacturing 8天前 已完结

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朋友您好，感谢应助，但是我需要的是论文的补充数据，并本体论文。能否麻烦搜集提供一下？（补充数据一般在science direct论文页面的左上角,reference（xx）和cite（xx）附近。 8天前

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