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The estimation of sputtering yields for SiC and Si
SiC和Si溅射产额的估算
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网址
https://doi.org/10.1016/s0168-583x(02)01273-9
DOI
10.1016/s0168-583x(02)01273-9 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
作者：G. Ecke; R. Kosiba; Vladimir S. Kharlamov; Yu. V. Trushin; J. Pezoldt
出版日期：2002-11-01
求助人
63941367 在 2025-09-16 09:04:21 发布自广东，悬赏 10 积分
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