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标题
Optimization of silicon etch rate in a CF4/Ar/O2 inductively coupled plasma
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001745
DOI
10.1116/6.0001745 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：Dmitry Levko; Laxminarayan L. Raja
出版日期：2022
求助人
63941367 在 2026-02-10 17:06:14 发布自广东，悬赏 10 积分
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