Computational study of plasma dynamics and reactive chemistry in a low-pressure inductively coupled CF4/O2 plasma - 科研通

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标题	Computational study of plasma dynamics and reactive chemistry in a low-pressure inductively coupled CF4/O2 plasma 低压电感耦合CF4/O2等离子体中等离子体动力学和反应化学的计算研究相关领域微电子等离子体薄脆饼等离子体处理感应耦合等离子体蚀刻（微加工）化学反应离子刻蚀等离子体刻蚀产量（工程）等离子体化学纳米技术化学物理材料科学分析化学（期刊）冶金环境化学物理量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001028
DOI	10.1116/6.0001028 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Dmitry Levko; Chandrasekhar Shukla; Rochan Upadhyay; Laxminarayan L. Raja 出版日期：2021-06-29
求助人	byyyy 在 2024-02-01 20:58:12 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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