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  Structural, Surface, and Optical Properties of AlN Thin Films Grown on Different Substrates by PEALD 相关领域
纤锌矿晶体结构
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期刊：Crystals 作者：Sanjie Liu; Yangfeng Li; Jiayou Tao; Ruifan Tang; Xinhe Zheng 出版日期：2023-06-03 |
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