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Study on the Influence of the Pulling Rate on the Axial and Radial Uniformity of Gallium in Czochralski Monocrystalline Silicon Crystal 相关领域
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期刊:Silicon 作者:Yubo Zu; Shaoyuan Li; Guoqiang Lv; Xiaohan Wan; Yongsheng Ren; Wenhui Ma 出版日期:2023-05-08 |
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