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ОСОБЕННОСТИ МИКРОСТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ТОНКИХ СФЕРОЛИТОВЫХ ПЛЕНОК ЦТС, СФОРМИРОВАННЫХ ДВУХСТАДИЙНЫМ МЕТОДОМ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ
网址
DOI
10.26456/pcascnn/2023.15.196 doi
其它 期刊:Physical and Chemical Aspects of the Study of Clusters, Nanostructures and Nanomaterials
作者:И.П. Пронин; Е.Ю. Каптелов; С.В. Сенкевич; А.Н. Крушельницкий; В.П. Пронин; et al
出版日期:2023
求助人
甄文氓 在 2026-03-19 14:40:36 发布自海南,悬赏 10 积分
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求助 / 应助时间线
  • 3个月前,求助关闭

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  • 4个月前

    甄文氓 甄文氓 Lv1 求助人 发起了本次求助

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