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标题
Etching characteristics of aluminum oxide and Inconel 600 Ni-based alloy by energetic fluorine and chlorine ion beams
高能氟、氯离子束刻蚀氧化铝和Inconel 600镍基合金的特性
相关领域
因科镍合金 合金 氧化铝 材料科学 离子 氧化物 蚀刻(微加工) 冶金 化学 复合材料 有机化学 图层(电子)
网址
DOI
10.35848/1347-4065/adbeca doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Hojun Kang; Tomoko Ito; Takuya Ishihara; Masaru Soeda; Masashi Sekine; et al
出版日期:2025-03-10
求助人
雨夜星空 在 2025-08-19 16:28:11 发布自浙江,悬赏 10 积分
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