ReaxFF molecular dynamics of chemical reaction mechanism of SiC crystal with alcoholic additives in CMP

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标题	ReaxFF molecular dynamics of chemical reaction mechanism of SiC crystal with alcoholic additives in CMP CMP中SiC晶体与醇类添加剂化学反应机理的ReaxFF分子动力学研究相关领域雷亚克夫分子动力学机制（生物学）化学物理材料科学计算化学化学化学工程纳米技术认识论工程类哲学原子间势
网址	https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2025.114026
DOI	10.1016/j.commatsci.2025.114026 doi
其它	期刊：Computational Materials Science 作者：Lei He; Jun Li; Chao Tang; Kai Chen; Li Yang; et al 出版日期：2025-06-09
求助人	kasumi 在 2025-07-16 18:06:02 发布自福建，悬赏 10 积分
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