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ReaxFF molecular dynamics of chemical reaction mechanism of SiC crystal with alcoholic additives in CMP

雷亚克夫分子动力学机制（生物学）化学物理材料科学计算化学化学化学工程纳米技术认识论工程类哲学原子间势

作者

Lei He,Jun Li,Chao Tang,Kai Chen,Li Yang,Jiajia Si

出处

期刊：Computational Materials Science [Elsevier BV]
日期：2025-06-09 卷期号：258: 114026-114026

标识

DOI：10.1016/j.commatsci.2025.114026

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